【英文标准名称】:Microbeamanalysis-Selectedinstrumentalperformanceparametersforthespecificationandcheckingofenergy-dispersiveX-rayspectrometersforuseinelectronprobemicroanalysis
【原文标准名称】:微光束分析.带半导体探测器能量发散X射线分光仪的仪器规范
【标准号】:ISO15632-2012
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2012-08
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC202
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析方法;定义(术语);电子束;测量仪器;微量分析;半导体探测器;半导体器件;半导体二极管;X射线分光计;X射线光度法
【英文主题词】:Analysismethods;Definitions;Electronbeams;Measuringinstruments;Microanalysis;Semiconductordetectors;Semiconductordevices;Semiconductordiodes;X-rayspectrometer;X-rayspectrometry
【摘要】:
【中国标准分类号】:N53
【国际标准分类号】:71_040_99
【页数】:11P;A4
【正文语种】:英语